반도체 Utility 실무노트
Fab Utility Field Archive

반도체 Utility 운영관리 실무노트

CDA, Chiller, HVAC, DI/RO, 전력품질, 순간정전 대응까지. Fab Utility 현장 경험을 정리한 실무 아카이브입니다.

반도체 Utility 운영관리 제조공장 설비 이미지
UTILITY MAP
CDADew Point
ChillerCooling Load
PowerSag / UPS
자주 보는 Trouble Dew Point 상승Sag 발생온습도 이탈수질 이상압력 저하
CDA 압축공기 Dryer Filter Dew Point 설비 이미지 CDA압축공기, Dryer, Filter, Dew Point HVAC Clean Room AHU 온습도 관리 이미지 HVACClean Room, AHU, 온습도 관리 Chiller 냉동기 냉각탑 효율 개선 이미지 Chiller냉동기, 냉각탑, 효율 개선 DI RO 초순수 수질 관리 이미지 DI/RO초순수, RO, PCW, 수질 관리 전력품질 Power Quality Voltage Sag UPS MCC 이미지 전력품질110kV, Sag, UPS, MCC WWT 폐수 Chemical 환경 설비 이미지 WWT폐수, Chemical, 환경 설비