Fab Utility Field Archive
반도체 Utility 운영관리 실무노트
CDA, Chiller, HVAC, DI/RO, 전력품질, 순간정전 대응까지. Fab Utility 현장 경험을 정리한 실무 아카이브입니다.
UTILITY MAP
CDADew Point
ChillerCooling Load
PowerSag / UPS
CDA압축공기, Dryer, Filter, Dew Point
HVACClean Room, AHU, 온습도 관리
Chiller냉동기, 냉각탑, 효율 개선
DI/RO초순수, RO, PCW, 수질 관리
전력품질110kV, Sag, UPS, MCC
WWT폐수, Chemical, 환경 설비