반도체 제조사업장 Utility 시스템 Particle 증가 원인 분석 및 관리 전략
반도체 제조 공정의 핵심은 초고순도 환경 유지입니다. Utility 시스템 내 Particle 증가는 수율 저하와 장비 손상으로 직결되므로, 그 원인을 정확히 파악하고 체계적으로 관리하는 것이 필수적입니다. 본 글에서는 Particle 증가의 다양한 원인과 함께, 이를 효과적으로 예방하고 대응하기 위한 운영 관리 전략을 수석 엔지니어의 관점에서 제시합니다.
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