게시일 2026.09.22
Particle Counter 개요
Particle Counter는 지정된 크기 범주의 입자 개수를 정해진 샘플 공기량 또는 시간으로 측정한다. 채널·유량·샘플링 방식·교정 상태는 모델과 적용 표준을 따른다.
Utility 적용
Cleanroom, UPW·가스 공정 주변, HVAC 공급공기와 필터 후단의 청정도 변화를 확인한다. 입자 수치만으로 오염원을 확정하지 않는다.
측정 전 준비
- 청정도 등급·측정 위치·입자 크기 채널과 샘플량 정의
- 교정·유량·누설·배터리·튜빙과 probe 상태 확인
- 운전·청소·작업자·공정 이벤트 기록
- 샘플링 위치와 이동경로의 오염 방지
안전 주의사항
Cleanroom gowning과 현장 PPE를 따른다. 공정가스·화학물질·고온·고압 라인에 probe를 임의 연결하지 않는다. 응축수나 액체가 계측기로 유입되지 않게 하고, 샘플링 후 폐기·오염관리 절차를 수행한다.
올바른 측정 위치
대표 작업점·Return·Supply·필터 전후를 구분한다. 샘플 probe 높이·방향·거리·접근경로를 표준화하고, 난류·배기·사람 이동이 결과에 미치는 영향을 기록한다.
현장 측정 순서
- 청정도 상태와 공정 이벤트를 기록한다.
- 계측기 zero·유량·누설·샘플링 설정을 확인한다.
- 정의된 위치에서 정해진 샘플량을 취득한다.
- 크기별 count와 시간·위치를 저장한다.
- 동일 조건 Baseline과 청정도 기준을 비교한다.
측정값 해석
입자 count는 샘플량과 채널별로 해석한다. 작은 변화는 작업자·기류·문 개방·청소·공정 이벤트의 영향을 받을 수 있다. 동일 위치·동일 샘플링과 교정상태가 확보되지 않으면 Trend 비교를 제한한다.
정상·비정상 판단
ISO 14644 등 적용 기준, 청정도 등급·측정점·샘플링 계획과 해당 공정 Baseline을 함께 사용한다. 단일 측정점의 단일 count를 공간 전체나 제품 오염의 절대 판정으로 확대하지 않는다.
흔한 측정 오류
샘플량·유량 오류, probe 위치 변경, 계측기 교정 만료, 튜빙 오염, zero 누락, 사람·문·청소 이벤트 미기록, count 단위와 입자 크기 채널 혼동이 흔하다.
이상값 추가 점검
증가한 채널과 위치를 재확인하고 필터 차압·기류·HVAC 상태·청소·작업 이벤트를 대조한다. 필요하면 필터 전후와 인접 위치를 비교해 발생원과 확산경로를 좁힌다.
조치 후 Verification
동일 샘플링 계획·위치·유량·시간·운전상태에서 재측정한다. 기준 적합성, Trend 안정화와 공정 이벤트 재발 여부를 함께 확인한다.
Baseline / Trend 관리
청정도 등급·측정점·입자 채널·샘플량·유량·환경·작업·교정상태·계측기 ID·시각과 결과를 보존한다.
References
- ISO 14644 series, cleanrooms and associated controlled environments
- ISO 21501-4, light scattering airborne particle counter calibration
- Particle counter manufacturer sampling and calibration manual
현장 품질보강
정상은 동일 측정점·샘플량·유량·입자채널·운전상태에서 ISO 14644/사이트 기준과 Baseline이 일치하는 상태다. 이상은 zero·누설·유량·교정·튜빙 오염과 작업·청소·문 개방 이벤트를 배제한 뒤 특정 채널과 위치에서 반복되는 상승으로 판정한다. RCA는 계측계통 → 샘플링 위치/기류 → 필터 차압·누설 → 작업·공정 이벤트 순으로 분리한다. 조치 후 같은 계획으로 재측정하고 기준 적합성·Trend 안정화·이벤트 재발 여부를 확인한다.
- 제품 선택
- 실무형: TSI AeroTrak 9306
- 전문형: Particles Plus 8306
- 공식 제품: https://particlesplus.com/8306-particle-counting/
- 공식 Manual/Datasheet: https://particlesplus.com/wp-content/uploads/2022/05/Particles-Plus-8306-Datasheet.pdf 및 8000 Series User Manual(MN-24001)
- 입자 크기 범위·유량·채널·교정·데이터 무결성 조건은 모델 공식 문서를 확인하고 가격은 제조사 Request a Quote 또는 공식 판매처로 확인한다.
References
TSI AeroTrak 9306: https://tsi.com/products/cleanroom-particle-counters/handheld-particle-counters/aerotrak-handheld-particle-counter-9306
Particles Plus 8306: https://particlesplus.com/8306-particle-counting/
TSI 9306 Spec Sheet: https://tsi.com/getmedia/a243f94f-bedb-473d-b8bc-a1da3a974980/AeroTrak_Handheld%209306_5001211-Web-A4?ext=.pdf
