PCW

EPI 공정의 수율과 안정성은 챔버 냉각의 정밀도에 좌우된다. 본 글은 PCW 시스템의 역할, 주요 리스크, 알람 설정 원칙, 열수지 계산, 현장 대응 절차, PM 점검표, KPI, 에너지 절감, 변경관리, 관리자 체크포인트까지 포함한 현장 기준서를 제공한다.